2021-10-18 16:48:05
本文關(guān)鍵字：質(zhì)量流量控制器

　　質(zhì)量流量控制器含分流器通道和流量放大、流量傳感器、電磁閥和P ID控制電路、線性化及溫度補償電路組成。

　　質(zhì)量流量控制器傳感器采用微機械加工技術(shù)，質(zhì)量流量控制器實現(xiàn)微小流量測量；其特點是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償，應(yīng)用于輕工、化工及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

　　質(zhì)量流量控制器用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。

　　質(zhì)量流量控制器使用注意：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上；需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下、設(shè)定值是0的狀態(tài)再操作；進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，確定氣體的干凈不能進水/油、雜質(zhì)粉塵不超過20微米；安裝前，請將設(shè)備管路進行整體吹掃。